April 19
Micro Electro-Mechanical Systems --MEMS - wafer sono miniaturizzati elementi meccanici ed elettromeccanici. Essi sono costituiti da miniaturizzati strutture, sensori, attuatori e microelettronica. I dispositivi possono convertire energia da una forma ad un'altra, ad esempio convertire un segnale meccanico misurata in un segnale elettrico.
wafer MEMS sono utilizzati in molti tipi di dispositivi elettronici, tra cui sensori, testine di stampa e micro-reattori. Essi sono spesso utilizzati in sensori di pressione, unità di misura inerziale, l'analisi del DNA e sensori impiantabili.
wafer MEMS vengono creati sul silicone o di vetro wafer. tipi di vetro speciali, tra cui vetro alcali-libera, bassa di vetro alcali, vetro speciale ad alta trasparenza e di grande purezza sintetico silice fusa sono disponibili per applicazioni specializzate.
wafer MEMS di dimensioni variabili da un micron a diversi millimetri. dimensioni base sono 4, 6 e 8 pollici con uno spessore compreso tra 0,05 e 2 mm. I piccoli attuatori compiere imprese meccaniche di gran lunga più grandi di loro dimensioni comporterebbe.
Con l'ulteriore sviluppo della tecnologia MEMS, può essere possibile per questi sensori miniaturizzati, attuatori e strutture da unire su un substrato di silicio comune lungo con i circuiti integrati. In questo modo combinare i cervelli del circuito con le capacità decisionali dei MEMS.